Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο: http://hdl.handle.net/11400/11278
Τίτλος: A CMOS compatible thermal accelerometer without solid proof mass, based on porous silicon thermal isolation
Συγγραφείς: Γουστουρίδης, Δημήτριος
Καλτσάς, Γρηγόριος
Νασιοπούλου, Ανδρούλα Γ.
Τύπος αντικειμένου: Δημοσίευση σε συνέδριο
Τύπος δημοσίευσης σε συνέδριο: Poster
Λέξεις-κλειδιά: Accelerometer;Porous silicon;Thermal sensor;Επιταχυνσιόμετρο;Πορώδες πυρίτιο;Θερμικός αισθητήρας
Θέματα: Technology
Electrical engineering
Τεχνολογία
Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
Ημερομηνία Δημοσίευσης: 27-Μαΐ-2015
2004
Εκδότης: IEEE
Περίληψη: A Si thermal accelerometer without solid proof mass has been developed and characterized. The device is CMOS compatible and consists of a polysilicon heater and two thermopiles, situated symmetrically on each side of a heater. A thick porous silicon (PS) layer assures thermal isolation from the Si substrate. The operation principle is based on the movement induced thermal convection variations between the heater and the hot thermopile contacts, which is caused from the relative movement of the hot air on top of the heater to the sensor die. The Porous Silicon Thermal Accelerometer (PSTA) was tested in a specially designed vibration system for different frequencies and accelerations. In each case the response was compared to a commercial accelerometer. Appropriate read out electronics were fabricated in order to reduce the noise of the thermopiles and to amplify the signal. The dependence of the response on applied power and the surrounding environment was also studied.
Γλώσσα: Αγγλικά
Βιβλιογραφική αναφορά: Goustouridis, D., Kaltsas, G. & Nassiopoulou, A.G. (2004) A CMOS compatible thermal accelerometer without solid proof mass, based on porous silicon thermal isolation, In: Proceedings of IEEE Sensors. Vienna, Austria. 24-27 October, 2004. [online] 2. p. 848-851, T3L-E.2. Available from: http://ieeexplore.ieee.org/
Συνέδριο: IEEE Sensors 2004
Πρόσβαση: Χρονικός αποκλεισμός
Άδεια χρήσης: Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες
URI: http://hdl.handle.net/11400/11278
Εμφανίζεται στις συλλογές:Δημοσιεύσεις

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο:
Δεν υπάρχουν αρχεία συσχετισμένα με αυτό το τεκμήριο


Αυτό το τεκμήριο προστατεύεται από άδεια Άδεια Creative Commons Creative Commons