Παρακαλώ χρησιμοποιήστε αυτό το αναγνωριστικό για να παραπέμψετε ή να δημιουργήσετε σύνδεσμο προς αυτό το τεκμήριο: http://hdl.handle.net/11400/2699
Τίτλος: A novel microfabrication technology on organic substrates - Application to a thermal flow sensor
Συγγραφείς: Καλτσάς, Γρηγόριος
Παγώνης, Δημήτριος-Νικόλαος
Πετρόπουλος, Α.
Τσουγένη, Κ.
Σπελιώτης, Τ
Συντελεστές: Νασσιοπούλου, Ανδρούλα Γ.
Gogolides, E
Τύπος αντικειμένου: Δημοσίευση σε περιοδικό
Θέματα: Naval science (General)
Ημερομηνία Δημοσίευσης: 23-Σεπ-2014
2007
Ημερομηνία Διαθεσιμότητας: 23-Σεπ-2014
Εκδότης: IOP Publishing Ltd
Περίληψη: Α new technology that allows the formation of thermal sensors on organic substrates by combining the standard PCB technology with the well established microelectronic techniques, is proposed. The obtained structures consist of low thermal conductivity material, therefore the heat dissipation to the substrate is minimized, which result to the enhancement of the device sensitivity and the improvement of the corresponding response time. The proposed technology exhibits a series of advantageous characteristics such as significant cost reduction, elimination of both wire-die bonding and die cutting, direct integration with electronics and potential expansion on flexible substrates. Furthermore, the final structure provides a planar surface, which allows for further lithographic steps to take place, but is also a major advantage for specific type of applications such as non-invasive flow measurements. In the context of the proposed technology, a thermal gas flow sensor was fabricated and tested in a specially designed experimental set-up. The sensor consisted of three thin Pt strips directly connected to the copper tracks of the organic substrate. The middle Pt resistor act as a heater while the other two serve as temperature sensing elements.
Γλώσσα: Αγγλικά
Βιβλιογραφική αναφορά: G Kaltsas, A Petropoulos, K Tsougeni, D N Pagonis, T Speliotis, E Gogolides and A G Nassiopoulou. (2007). A novel microfabrication technology on organic substrates - Application to a thermal flow sensor. Journal of Physics: Conference Series. Vol 92, 1-4.
Περιοδικό: Journal of Physics: Conference Series
Είδος περιοδικού: Με διαδικασία κρίσης από ομότιμους κριτές (peer review)
Πρόσβαση: Δημόσια διαθέσιμο
Άδεια χρήσης: Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες
URI: http://hdl.handle.net/11400/2699
Εμφανίζεται στις συλλογές:Δημοσιεύσεις

Αρχεία σε αυτό το τεκμήριο:
Αρχείο Περιγραφή ΜέγεθοςΜορφότυπος 
J-08.pdf565.27 kBAdobe PDFΔείτε/ Ανοίξτε


Αυτό το τεκμήριο προστατεύεται από άδεια Άδεια Creative Commons Creative Commons