Current filters:
Start a new search
Add filters:

Use filters to refine the search results.

Results 1-10 of 14 (Search time: 0.003 seconds).
Item hits:
Issue DateTitleAuthor(s)
2015-01-09; 2006Off-line metrology on SEM images using gray scale morphologyΖώης, Ηλίας Ν.; Ράπτης, Ιωάννης; Αναστασόπουλος, Βασίλειος
2015-05-17; 2008-01Molecular weight and processing effects on the dissolution properties of thin poly(methyl methacrylate) filmsΚοκκίνης, Α.; Βαλαμόντες, Ευάγγελος Σ.; Γουστουρίδης, Δημήτριος; Γκανέτσος, Θεόδωρος; Μπέλτσιος, Κωνσταντίνος Γ.
2015-05-18; 2005Fractal roughness of polymers after lithographic processingΚωνσταντούδης, Βασίλειος; Γογγολίδης, Ευάγγελος; Πάτσης, Γεώργιος Π.; Σαρρής, Βασίλειος; Τσερέπη, Αγγελική Δ.
2015-05-17; 2007-02-25Simulation of the combined effects of polymer size, acid diffusion length, and EUV secondary electron blur on resist line-edge roughnessΔρυγιαννάκης, Δ.; Nijkerk, M. D.; Πάτσης, Γεώργιος; Κόκκορης, Γ.; Ράπτης, Ιωάννης
2015-05-17; 2007-02-25Stochastic simulation of material and process effects on the patterning of complex layoutsΤσικρικάς, Ν.; Δρυγιαννάκης, Δ.; Πάτσης, Γεώργιος; Κόκκορης, Γεώργιος; Ράπτης, Ιωάννης
2015-05-18; 2003-01Etching behavior of Si-containing polymers as resist materials for bilayer lithographyΤσερέπη, Αγγελική Δ.; Κορδογιάννης, Γεώργιος; Πάτσης, Γεώργιος Π.; Κωνσταντούδης, Βασίλειος; Γογγολίδης, Ευάγγελος
2015-05-20; 1997-02Gel formation theory approach for the modelling of negative chemically amplified e-beam resistsΠάτσης, Γεώργιος; Ράπτης, Ιωάννης; Γλέζος, Νίκος; Αργείτης, Παναγιώτης; Χατζάκης, Μιχαήλ
2015-05-19; 2002Resist plasma etching for 157 nm lithographyΤσερέπη, Αγγελική Δ.; Eon, David; Cartry, Gilles; Cardinaud, Christophe; Peignon, Marie Claude
2015-05-19; 2005Effects of model polymer chain architectures of photo-resists on line-edge-roughnessΠάτσης, Γεώργιος; Γογγολίδης, Ευάγγελος
2015-05-20; 1998-03E-beam proximity correction for negative tone chemically amplified resists taking into account post-bake effectsΓλέζος, Νίκος; Πάτσης, Γεώργιος; Rosenbusch, Anja; Cui, Zheng