Skip navigation
Home
Browse
Communities
& Collections
Browse Items by:
Author
Title
Keyword
Type
Help
Language
Ελληνικά
English
Sign on to:
My DSpace
Receive email
updates
Edit Profile
Υπατία
Search
Search:
All of DSpace
Ακαδημαϊκή Έρευνα και Εκπαίδευση
Σχολή Τεχνολογικών Εφαρμογών
Τμήμα Ηλεκτρονικών Μηχανικών Τ.Ε.
Δημοσιεύσεις
for
Current filters:
Title
Author
Subject
Type
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Title
Author
Subject
Type
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Start a new search
Add filters:
Use filters to refine the search results.
Title
Author
Subject
Type
Date Issued
Equals
Contains
ID
Not Equals
Not Contains
Not ID
Results 1-3 of 3 (Search time: 0.002 seconds).
previous
1
next
Item hits:
Issue Date
Title
Author(s)
2015-05-19; 2004-09
Effects of photoresist polymer molecular weight on line-edge roughness and its metrology probed with Monte Carlo simulations
Πάτσης, Γεώργιος
;
Κωνσταντούδης, Βασίλειος
;
Γογγολίδης, Ευάγγελος
2015-05-19; 2004-02-22
Toward a complete description of linewidth roughness
Κωνσταντούδης, Βασίλειος
;
Πάτσης, Γεώργιος
;
Leunissen, Leonardus H. A.
;
Γογγολίδης, Ευάγγελος
2015-05-20; 2004-08-17
Line edge roughness and critical dimension variation
Κωνσταντούδης, Βασίλειος
;
Πάτσης, Γεώργιος
;
Γογγολίδης, Ευάγγελος
;
Leunissen, Leonardus H. A.
Discover
Type
2
Δημοσίευση σε περιοδικό
1
Δημοσίευση σε συνέδριο
Subject
3
LER
2
Photoresistance
1
Applied physics
1
Correlation function
1
Ionization
1
Scaling analysis
1
Spatial dimensions
1
Διαστάσεις χώρου
1
Εφαρμοσμένη φυσική
1
Ιονισμός
.
next >
Date issued
3
2015